1. Độ phân giải: 0.2 nm
- Ảnh điểm: 0.38 nm
- Ảnh mạng: 0.2 nm
2. Thế gia tốc: cực đại 120 kV
- Bước: 40, 60, 80, 100, 120 kV
- Bước thay đổi nhỏ nhất: 33 V
- Độ ổn định: 2 x 10-6 / phút (2 ppm/phút)
- Cách nhiệt bằng dầu
3. Độ phóng đại: x 800,000
- Chế độ MAG: x800 đến x 800,000
Độ phóng đại tối đa thu được do hệ súng điện tử, hệ quang điện tử
- Chế độ LOW MAG: x50 đến x1,000
- Chế độ SA mag: x2,000 đến x30,000 (±90°)
4. Thấu kính hội tụ (CL)
- C.L. (khe): 2-tầng (đơn)
- Kích thước điểm : 5 bước "steps"
- Đường kính đầu dò nhỏ nhất: 0.2 micromet
5. Thấu kính quang (OL): hệ thấu kính 2-tầng
Độ ổn định dòng: 1x 10-6 /phút (1 ppm/phút)
6. Bệ mẫu
- Dạng: truy xuất bên cạnh
- Số lượng mẫu: 1
- Góc nghiêng mẫu lớn nhất X ±25° (với bộ giữ mẫu tiêu chuẩn)
- Độ dịch chuyển mẫu: X/Y: 1.0 mm, Z: ±0.5 mm
+ Bước di chuyển nhỏ nhất: X/Y: ≤ 4 nm, Z : ≤ 0.5 mm
7. Chiều dài Camera
- SA DIFF mode: 15 đến 350 cm
- HD DIFF mode: 4 đến 80 m