● Độ phân giải thậm chí tốt hơn 7nm ở 3kV với tín hiệu SE, 10nm ở 5kV với tín hiệu BSE
● Hệ thống thế hãm tốc và xử lý tín hiệu mới cho phép hiệu chỉnh và lấy nét nhanh chóng, đơn giản
● Chức năng tự động cân bằng trắng (ABC) và tự đông lấy nét (AFC) cho phép thu ảnh tối ưu và nhanh hơn
● Đầu dò UVD* mới là đầu dò độ nhạy cao sử dụng cho chế độ chân không thấp
● Chức năng soi nổi mới cho phép quan sát ảnh nổi mà không cần quay mẫu
* Lựa chọn thêm