Nhà cung ứng: Công ty TNHH Hitachi Asia (Việt Nam)
Hitachi NE4000 nano EBAC là một hệ thống đo dùng chùm tia điện tử để đặc tính hóa tính chất về điện học và EBAC phân tích và thu ảnh của thiết bị vi điện tử như liên kết, vật liệu và linh kiện.
Đầu dò
Số bộ
4
Phương pháp điều khiển
Con rung Piezoelectric
Tầm chuyển động nhỏ nhất
5 µm (X,Y)
Tầm chuyển động thô
6 mm (X,Y)
Bàn mẫu / Chân bàn
Kích thước mẫu
25 mm × 25 mm × 1 mm dày hay thấp hơn
Vị trí dịch chuyển
Vị trí thay Phép đo/Mẫu
Trao đổi mẫu
Buồng thay mẫu có khóa không khí
Dịch huyển đầu dò
Bàn mẫu di chuyển đến vị trí đo
Bộ nhớ vị trí đo
Đầu dò chỉnh thô
Hiển thị ảnh CCD
Hình ảnh hiển thị từ cạnh bên
Hệ quang học điện tử
Súng điện tử
Nguồn phát điện tử trường lạnh
Điện áp gia tốc
0.5 kV to 30 kV
Độ phân giải
15 nm (at 2 kV, WD=15 mm)
Dịch chuyển ảnh
±150 µm (at 2 kV, WD=15 mm)
Bộ khuếch đại EBAC / Hiển thị hình ảnh
Loại khuếch đại
Khuếch đại dòng điện/ Vi sai
Hiển thị hình ảnh
SEM / EBAC (Đơn lẻ /Song song/Chồng lấp)
Xử lý hình ảnh
Hiển thị tái tạo đen và trắng, hiển thị màu, quét tích phân chậm, quét đai
Mã sản phảm:
Vật liệu và luyện kim
Hãy nhập từ khóa tìm kiếm.