Hệ thống đặc tính hóa hấp thụ dòng điện bằng chùm tia điện tử Hitachi (EBAC) nanoEBAC NE4000

☆☆☆☆☆ ( 0 đánh giá ) 1989 lượt xem
Giá tham khảo : Liên hệ

Nhà cung ứng: Công ty TNHH Hitachi Asia (Việt Nam)

Hitachi NE4000 nano EBAC là một hệ thống đo dùng chùm tia điện tử để đặc tính hóa tính chất về điện học và EBAC phân tích và thu ảnh của thiết bị vi điện tử như liên kết, vật liệu và linh kiện.

Chọn sản phẩm

    • ● Cho ảnh EBAC chất lượng cao với bộ khuếch đại vi sai chất lượng cao EBAC ba82g sáng chế của Hitachi.
    ● Giao diện người dùng GUI (Graphical User Interface) trực quan với nhiều ảnh và tính năng xử lý màu sắc.
    ● Phạm vi xác định, quang sai thấp, súng điện tử Phát Trường Lạnh (CFE) để thu ảnh ở điện thế thấp và giảm sự phá hủy của chùm tia cho mạch điện.
    ● Đầu dò nano có độ chính xác cao.
    ● Vị trí thô của đầu dò được giám sát bằng một hệ thống máy quay CCD đặt bên trong buồng mẫu.

  • THÔNG SỐ KỸ THUẬT

    • Đầu dò

    Số bộ

    4

    Phương pháp điều khiển

    Con rung Piezoelectric

    Tầm chuyển động nhỏ nhất

    5 µm (X,Y)

    Tầm chuyển động thô

    6 mm (X,Y)

    Bàn mẫu / Chân bàn

    Kích thước mẫu

    25 mm × 25 mm × 1 mm dày hay thấp hơn

    Vị trí dịch chuyển

    Vị trí thay Phép đo/Mẫu

    Trao đổi mẫu

    Buồng thay mẫu có khóa không khí

    Dịch huyển đầu dò

    Bàn mẫu di chuyển đến vị trí đo

    Bộ nhớ vị trí đo

    Đầu dò chỉnh thô

    Hiển thị ảnh CCD

    Hình ảnh hiển thị từ cạnh bên

    Hệ quang học điện tử

    Súng điện tử

    Nguồn phát điện tử trường lạnh

    Điện áp gia tốc

    0.5 kV to 30 kV

    Độ phân giải

    15 nm (at 2 kV, WD=15 mm)

    Dịch chuyển ảnh

    ±150 µm (at 2 kV, WD=15 mm)

    Bộ khuếch đại EBAC / Hiển thị hình ảnh

    Loại khuếch đại

    Khuếch đại dòng điện/ Vi sai

    Hiển thị hình ảnh

    SEM / EBAC (Đơn lẻ /Song song/Chồng lấp)

    Xử lý hình ảnh

    Hiển thị tái tạo đen và trắng, hiển thị màu, quét tích phân chậm, quét đai

    Scroll