Hệ thống đo độ dày màng mỏng JASCOINT UTS-2000

☆☆☆☆☆ ( 0 đánh giá ) 235 lượt xem
Giá tham khảo : Liên hệ

English version

Nhà cung ứng: JASCO International Co., Ltd.

Hệ thống dùng để đo độ dày của các lớp, màng, chất nền và các lớp bán dẫn của thiết bị bán dẫn.

Chọn sản phẩm

    • - Độ dày của các lớp, màng, chất nền và các lớp bán dẫn ảnh hưởng rất lớn tới chất lượng sản phẩm
    - Hệ thống đo độ dày màng mỏng Jasco UST-2000 sử dụng công nghệ tiên tiến cho phép kiểm tra nhanh và chính xác
    - Sử dụng phương pháp kiểm tra không tiếp xúc, không phá hủy
    - Khả năng đo độ dày với dải rộng từ 0.25 đến 750 µm
    - Ứng dụng quang học với độ chính xác cao, vận hành đơn giản.

  • THÔNG SỐ KỸ THUẬT

    • Phương pháp đo

    Hồng ngoại FT-IR dành cho màng mỏng

    Điều chỉnh đo

    Phản xạ, truyền qua (option)

    Vật kính

    Hồng ngoại gần: Lens objectives (4X) and Cassegrain objectives (15X, 30X)
     

    Hồng ngoại trung: Cassegrain objectives (15X, 30X)

    Hội tụ

    Chu trình 11mm

    Diện tích kiểm tra

    20 x 20 to 1200 x 1200 µm

    Vị trí kiểm tra

    Sử dụng camera CCD

    Dải đo/độ chính xác

    		  

    Độ dày màng

    0.25 to 750 µm (for Si)

    Độ lặp lại

    ±0.005 µm hoặc nhỏ hơn (for Si with identical measurements)

    XY stage

    		  

    Stage movement

    200 x 200 mm (có sẵn các tùy chọn khác)

    Bước nhỏ nhất

    2 µmm

    Thông số vận hành

    		  

    Hệ thống vận hành

    Windows 7 Professional

    Điều khiển hệ thống

    JASCO Spectra Manager software; Optics and X-Y stage control; Wafer cassette system control (option)

    Bàn đo

    		  

    Loại

    Bàn cách ly rung tích hợp

    Kích thước

    1400 x 850 x 1025 mm (không bao gồm phần lồi và hệ thống tùy chọn)

    Nguồn điện

    300 VA

    Scroll