English version
Nhà cung ứng: JASCO International Co., Ltd.
Hệ thống dùng để đo độ dày của các lớp, màng, chất nền và các lớp bán dẫn của thiết bị bán dẫn.
Phương pháp đo Hồng ngoại FT-IR dành cho màng mỏng Điều chỉnh đo Phản xạ, truyền qua (option) Vật kính Hồng ngoại gần: Lens objectives (4X) and Cassegrain objectives (15X, 30X) Hồng ngoại trung: Cassegrain objectives (15X, 30X) Hội tụ Chu trình 11mm Diện tích kiểm tra 20 x 20 to 1200 x 1200 µm Vị trí kiểm tra Sử dụng camera CCD Dải đo/độ chính xác Độ dày màng 0.25 to 750 µm (for Si) Độ lặp lại ±0.005 µm hoặc nhỏ hơn (for Si with identical measurements) XY stage Stage movement 200 x 200 mm (có sẵn các tùy chọn khác) Bước nhỏ nhất 2 µmm Thông số vận hành Hệ thống vận hành Windows 7 Professional Điều khiển hệ thống JASCO Spectra Manager software; Optics and X-Y stage control; Wafer cassette system control (option) Bàn đo Loại Bàn cách ly rung tích hợp Kích thước 1400 x 850 x 1025 mm (không bao gồm phần lồi và hệ thống tùy chọn) Nguồn điện 300 VA
Phương pháp đo
Hồng ngoại FT-IR dành cho màng mỏng
Điều chỉnh đo
Phản xạ, truyền qua (option)
Vật kính
Hồng ngoại gần: Lens objectives (4X) and Cassegrain objectives (15X, 30X)
Hồng ngoại trung: Cassegrain objectives (15X, 30X)
Hội tụ
Chu trình 11mm
Diện tích kiểm tra
20 x 20 to 1200 x 1200 µm
Vị trí kiểm tra
Sử dụng camera CCD
Dải đo/độ chính xác
Độ dày màng
0.25 to 750 µm (for Si)
Độ lặp lại
±0.005 µm hoặc nhỏ hơn (for Si with identical measurements)
XY stage
Stage movement
200 x 200 mm (có sẵn các tùy chọn khác)
Bước nhỏ nhất
2 µmm
Thông số vận hành
Hệ thống vận hành
Windows 7 Professional
Điều khiển hệ thống
JASCO Spectra Manager software; Optics and X-Y stage control; Wafer cassette system control (option)
Bàn đo
Loại
Bàn cách ly rung tích hợp
Kích thước
1400 x 850 x 1025 mm (không bao gồm phần lồi và hệ thống tùy chọn)
Nguồn điện
300 VA
Mã sản phảm:
Danh mục ngành nghề
Hãy nhập từ khóa tìm kiếm.