Máy kiểm tra sản phẩm bằng X quang X-eye NF120 Nano-focus

☆☆☆☆☆ ( 0 đánh giá ) 451 lượt xem
Giá tham khảo : Liên hệ

Nhà cung ứng: Công ty SEC

Máy kiểm tra sản phẩm bằng X quang X-eye NF120 Nano-focus.

  • - Hệ thống phân tích không phá hủy cho quy trình đóng gói tích hợp (Wafer Level Packaging)
    - CT loại kép giúp thu được hình ảnh độ phân giải cao
    - TSV, Micro Bump, Pattern

  • THÔNG SỐ KỸ THUẬT
  • Ống Tia X

    120 kV / 200 µA

    Độ phân giải tối thiểu

    0.2

    Kích thước bàn

    wafer 12inch

    Bộ dò

    FPXD 6 inch

    Phương pháp chụp CT

    CT xiên/CT chùm tia hình nón

    Kích thước

    2.380 x 1.450 x 2.120 mm Hộp điều khiển: 600 x 1.250 x 1.030 mm

    Khối lượng

    7.000kg

  • ƯU ĐIỂM CN/TB
  • - Ống Nano-focus có độ phân giải 200 nano được cài đặt chuyên dụng cho quy trình tích hợp bán dẫn, Wafer Level Packaging(WLP) yêu cầu phát hiện các khiếm khuyết nhỏ hơn cỡ micro.
    - Có khả năng theo dõi và dò ra chính xác vùng khuyết tật bằng độ dịch chuyển chính xác trục với bàn chống rung.
    - Có khả năng chụp CT nếu mô-đun CT 3D được bổ sung và Wafer Bump Automatic Inspection được cung cấp đưa vào kiểm tra với hệ thống xử lý wafer.

    Scroll