Công cụ với giá thành hợp lý dành cho các ứng dụng gia công micro bằng tia UV chất lượng cao Thiết bị gia công vật liệu VarioLas UV được thiết kế trên nền tảng dòng laser COMPexPro 100 Excimer series. Thiết kế quang học tốt hơn, bền va đập cơ học và độ ổn định Xung-tới-Xung không đối xứng là những yếu tố chính được bao gồm trong mỗi hệ thống VarioLas, laser excimer với các giá trị bước sóng phổ biến gồm 193 nm, 248 nm và 308 nm.