Thiết bị gia công bằng tia Laser Excimer VarioLas Family

( 227 đánh giá ) 2720 lượt xem
Giá tham khảo : Liên hệ

Nhà cung ứng: Coherent Inc.

Công cụ với giá thành hợp lý dành cho các ứng dụng gia công micro bằng tia UV chất lượng cao Thiết bị gia công vật liệu VarioLas UV được thiết kế trên nền tảng dòng laser COMPexPro 100 Excimer series. Thiết kế quang học tốt hơn, bền va đập cơ học và độ ổn định Xung-tới-Xung không đối xứng là những yếu tố chính được bao gồm trong mỗi hệ thống VarioLas, laser excimer với các giá trị bước sóng phổ biến gồm 193 nm, 248 nm và 308 nm.

Chọn sản phẩm

    • VarioLas Eco, VarioLas Pro và VarioLas Sweep được tích hợp nguồn laser excimer với các các giá trị bước sóng phổ biến gồm 193 nm, 248 nm và 308 nm.

     

    Các đặc tính nổi bật của laser excimer VarioLas

    Trang bị công nghệ laser excimer của Coherent

    Kích thước trường lớn cho các quy trình gia công xử lí đồng thời

    Tính khả dụng của chum tia

    Độ ổn định Xung-tới-Xung tốt hơn

    Độ ổn định quy trình gia công không đối xứng

    Thiết kế dạng mô-đun với các tùy chọn nâng cấp

  • THÔNG SỐ KỸ THUẬT

    • VarioLas Model

    VarioLas Eco

    VarioLas Pro

    VarioLas Sweep

    Địa chất thực địa

    Square

    Square

    Line

    Kích thước trường đế (mm2)

    2 x 2

    2 x 2

    50 x 0.6

    Độ phân giải quang học(μm)

    30

    5

    -

    Khoảng cách làm việc(mm)

    50

    50

    100

    Tần số lặp xung tối đa(Hz)

    100

    100

    100

    Mật độ năng lượng tối đa (mJ/cm2) ở 193 nm

    1000

    1000

    230

    Mật độ năng lượng tối đa (mJ/cm2) ở 248 nm

    3500

    3500

    600

    Mật độ năng lượng tối đa (mJ/cm2) ở 308 nm

    3000

    3000

    500

    Độ ổn định năng lượng (%, 1 sigma) ở 193 nm

    2

    2

    2

    Độ ổn định năng lượng (%, 1 sigma) ở 248 nm

    1

    1

    1

    Độ ổn định năng lượng (%, 1 sigma) ở 308 nm

    1

    1

    1

     

    Phụ kiện

    Số tham chiếu

    Phụ kiện an toàn

    1161813

    Hộp chứa - Class 1

    1161812

    Mạch khóa liên động an toàn tự động - Class 3

    1107556

    Màng chắn chùm tia laser tự động cho bước sóng 193 nm

    1107557

    Màng chắn chùm tia laser tự động cho bước sóng 248 nm

    1157558

    Màng chắn chùm tia laser tự động cho bước sóng 308 nm

    Số tham chiếu

    Bộ điều khiển

    1161814

    Máy tính PC điều khiển (với màn hình)

    1161815

    Bệ đỡ (3 hệ trục bao gồm dụng cụ gá)

    1161816

    Thiết bị quan sát (dành cho VarioLasPro, 193 nm)

    1161817

    Thiết bị quan sát (dành cho VarioLasPro, 248 nm và 308 nm)

    1161818

    Thiết bị quan sát (dàn cho VarioLasPro, tất cả bước sóng)

    1161819

    Bộ suy giảm gắn động cơ (nâng cấp)

    1161820

    Bộ suy giảm gắn động cơ , Kiểm soát năng lượng, Pro/Eco, 193 nm

    1161821

    Bộ suy giảm gắn động cơ , Kiểm soát năng lượng, Pro/Eco, 248 nm

    1161822

    Bộ suy giảm gắn động cơ , Kiểm soát năng lượng, Pro/Eco, 308 nm

    Scroll