Kính hiển vi điện tử quét phân giải siêu cao Regulus Series

( 227 đánh giá ) 3520 lượt xem

Nhà cung ứng: Công ty TNHH Hitachi Asia (Việt Nam)

Regulus Series sử dụng đầu phát điện tử phát xạ trường lạnh (Cold-field-emission - CFE) tối ưu hóa cho hình ảnh độ phân giải cao tại thế gia tốc thấp. Đầu phát cho phép thiết bị có thể để phóng to hình ảnh độ phân giải cao lên đến 2 triệu lần *1 so với chỉ 1 triệu lần trong các dòng sản phẩm trước đó.

Chọn sản phẩm

THÔNG TIN CHUNG

- Đầu phát điện tử CFE được tối ưu hóa cho điện áp thấp, hình ảnh độ phân giải cao với sai số nhỏ

- Độ phân giải được cải thiện 20% so với các model trước đó (Regulus8220 / 8230/8240: 0,9 nm / 1 kV; Regulus8100: 1,1 nm / 1 kV)

- Độ phóng đại tối đa lớn gấp đôi, từ 1 triệu lần lên tới 2 triệu lần *2

- Tối ưu các chức năng hỗ trợ người dùng

THÔNG SỐ KỸ THUẬT

Regulus 8100

Regulus 8220

Regulus 8230

Regulus 8240

Độ phân giải SE

0.8 nm (Vacc: 15 kV)

0.7 nm (Vacc: 15 kV)

1.1 nm (Điện áp landing: 1 kV)^*3

0.9 nm (Điện áp landing: 1 kV)^*3

Thế gia tốc

0.5~30 kV

0.5~30 kV

Điện áp landing^*3

0.1~2 kV

0.01~20 kV

Độ phóng đại

20~1,000,000 ×^*4

20~2,000,000 ×^*4

Bàn mẫu

Điều khiển bàn mẫu

Động cơ 3 trục ^*5

Động cơ 5 trục

Phạm vi dịch chuyển

X

0~50 mm

0~50 mm

0~110 mm

0~110 mm

Y

0~50 mm

0~50 mm

0~110 mm

0~80 mm

R

360°

T

-5~70°

Z

1.5~30 mm

1.5~40 mm

Độ lặp lại bàn mẫu

-

-

-

Nhỏ hơn ±0.5 µm

SẢN PHẨM LIÊN QUAN

Gợi ý Tổ chức - Chuyên gia tư vấn

			Regulus 8100	Regulus 8220	Regulus 8230	Regulus 8240
Độ phân giải SE			0.8 nm (Vacc: 15 kV)	0.7 nm (Vacc: 15 kV)
			1.1 nm (Điện áp landing: 1 kV)^*3	0.9 nm (Điện áp landing: 1 kV)^*3
Thế gia tốc			0.5~30 kV	0.5~30 kV
Điện áp landing^*3			0.1~2 kV	0.01~20 kV
Độ phóng đại			20~1,000,000 ×^*4	20~2,000,000 ×^*4
Bàn mẫu	Điều khiển bàn mẫu		Động cơ 3 trục ^*5	Động cơ 5 trục
	Phạm vi dịch chuyển	X	0~50 mm	0~50 mm	0~110 mm	0~110 mm
		Y	0~50 mm	0~50 mm	0~110 mm	0~80 mm
		R	360°
		T	-5~70°
		Z	1.5~30 mm		1.5~40 mm
	Độ lặp lại bàn mẫu		-	-	-	Nhỏ hơn ±0.5 µm