Máy quang khắc tự động Midas MDA-80FA

☆☆☆☆☆ ( 0 đánh giá ) 667 lượt xem
Giá tham khảo : Liên hệ

Nhà cung ứng: MIDAS SYSTEM CO.,LTD.

Máy quang khắc là thiết bị được sử dụng trong công nghệ bán dẫn và công nghệ vật liệu nhằm tạo ra các chi tiết của vật liệu và linh kiện với hình dạng và kích thước xác định bằng cách sử dụng các bức xạ (ánh sáng, chùm điện tử…) làm biến đổi các chất cản quang phủ trên bề mặt để tạo ra hình ảnh cần tạo.

Chọn sản phẩm

  • THÔNG SỐ KỸ THUẬT

    • Kiểu

    Hoàn toàn tự động (Mask Aligner)

    Kích thước mặt nạ

    lên đến 9 "x 9"

    Kích thước bề mặt

    số 8"

    Đèn UV & Nguồn điện

    2kW & Nguồn cấp điện

    Kích thước Chùm tia đồng nhất

    10.25 "x 10.25"

    Chùm tia đồng nhất

    <± 5%

    Bước sóng chùm tia

    350 ~ 450nm

    Cường độ bước sóng 365nm

    ~ 25mW / cm2

    Độ chính xác cân chỉnh

    1um

    Độ phân giải xử lý

    1um @ 1um PR với độ dày tiếp xúc chân không

    Chế độ xử lý

    Mềm, cứng, hút chân không tiếp xúc& tiệm cận

    Di chuyển

    x, y, z và θ (động cơ)

    Pre-Aligner

    ± 50um

    Khung

    Hệ thống chống rung

    Tùy chọn

    đo cường độ tia cực tím

    vv

  • ƯU ĐIỂM CN/TB

    • - Giao diện người dùng thao tác dễ dàng
    - PC hoạt động với điều khiển PLC
    - Thu thập hình ảnh & Dữ liệu
    - Hơn 100 công thức vận hành
    - Hệ thống điều khiển vị trí bằng kính hiển vi
    - Chức năng tìm kiếm dấu tự động cân chỉnh

    Scroll