1. Độ phân giải:
- Ảnh điểm: 0,23 nm
- Ảnh mạng: 0,14 nm
2. Thế gia tốc cực đại 200 kV
- Bước: 40, 80, 100, 120, 160, 200 kV
- Bước thay đổi nhỏ nhất: 50 V
- Độ ổn định thế gia tốc: 2 x 10-6 / phút (2 ppm/phút)
- Độ ổn định dòng vật kính: 1 x 10-6 / phút (1 ppm/phút)
3. Độ phóng đại: x 1.500.000 lần
- Chế độ MAG: x 2.000 đến x 1.500.000 lần
- Chế độ LOW MAG: x50 đến x 6.000 lần
- Chế độ SA MAG: x 8.000 đến x 800.000 lần
4. Chiều dài Camera:
- Chế độ SA DIFF: 80 đến 2.000 mm
- Chế độ HD DIFF: 4 đến 80 m
- Chế độ HR DIFF: 333 mm
5. Vật kính:
- Có thấu kính Lorentz
- Chiều dài tiêu cự: 2,3 mm
- Quang sai cầu: 1,0 mm
- Quang sai sắc: 1,4 mm
- Bước thay đổi nhỏ nhất: 1,5 nm
6. Kích thước điểm:
- Chế độ TEM: đường kính 20 đến 200 nm
- Chế độ EDS/NBD/CBD: α-selector, đường kính 1 đến 25 nm
Nhiễu xạ chùm hội tụ (CBED):
- Góc hội tụ (2α ): = 1,5 đến 20 mrad hay nhiều hơn
- Góc thu nhận : ± 10o
- Có chế độ tạo ảnh nhiễu xạ lựa chọn vùng (SAED)
- Có chế độ tạo ảnh nhiễu xạ chùm tia lựa chọn góc rộng (LACBED)
7. Buồng mẫu:
- Góc nghiêng: ±30°
- Độ dịch (shift): 2mm (theo trục X,Y); 0,4mm (theo trục Z ± 0,2mm)