Kính hiển vi điện tử quét/truyền qua HD 2700

☆☆☆☆☆ ( 0 đánh giá ) 221 lượt xem
Giá tham khảo : Liên hệ

Nhà cung ứng: Công ty TNHH Hitachi Asia (Việt Nam)

Tạo ảnh độ phân giải cao hiệu chỉnh Cs & phân tích độ nhạy cao với năng suất vượt trội.

  • Trong các lĩnh vực khác nhau từ R&D đến kiểm tra chất lượng của vật liệu tiến tiến nano và thiết bị bán dẫn, thì nhu cầu cần phải cải thiện độ phân giải không gian và hiệu suất phân tích cho kính hiển vi điện tử đang ngày càng gia tăng trong những năm gần đây. Hiệu chỉnh quang sai cung cấp một giải pháp ưu việt cho những nhu cầu đó. Hitachi High Technologies trước đây đã thương mại hóa kính hiển vi điện tử với khả năng hiệu chỉnh quang sai cầu, từ đó tiếp tục theo đuổi khái niệm về cung cấp cả năng suất cao và hiệu suất cao có được từ sự hiệu chỉnh quang sai. Dòng STEM HD-2700 với bộ hiệu chỉnh quang sai mới được phát triển của Hitachi đã thành công trong việc hiện thực hóa khái niệm trên.

  • THÔNG SỐ KỸ THUẬT
  • STT

    Mô tả

     

    w/o Cs-corrector

    w/Cs-corrector

    Phân giải hình ảnh

    0.204nm (ở độ phóng đại 4,000,000x)

    0.136nm (hỉnh ảnh HAADF-STEM)

    0.105nm (FFT) (ở độ phóng đại 7,000,000x)(Hrlens)

    Độ phóng đại

    100x -10,000,000x

    Thế gia tốc

    200kV, 120kV*, 80kV*

    Tín hiệu hình ảnh

    Trường sáng STEM: hình ảnh tương phản pha (hình ảnh TE)

    Nền đen STEM: hỉnh ảnh tương phản – Z (hỉnh ảnh ZC)

    Hình ảnh điện tử thứ cấp (hỉnh ảnh SE)

    Nhiễu xạ điện tử*

    Phân tích đặc trưng tia X và lập bản đồ nguyên tố (EDX)*

    Phân tích EELS và lập bản đồ nguyên tố (EV3000)*

    Quang điện tử

    Nguồn điện tử

    Phát xạ Schottky (w/o Cs-corrector)

    Phát xạ trường lạnh (w/Cs-Corrector, w/o Cs-corrector)

    Hệ thống thấu kính hội tụ

    Thấu kính hội tụ 2 tầng

    Cs-corrector*

    Thiết kế thấu kính truyền đa cực

    Cuộn quét

    Cuộn từ trường 2 tầng

    Bộ điều khiển góc thu ZC

    Thiết kế thấu kính rọi

    Dịch ảnh trường điện

    ±1um

    Đế mẫu

    Dịch chuyển đế mẫu

    X/Y = ±1mm, Z = ±0.4mm

    Nghiêng mẫu

    Hố giữ mẫu nghiêng đơn: ±300 (Std. Léns) ±180 (HR lens)

  • ƯU ĐIỂM CN/TB
  • Tạo ảnh STEM độ phân giải cao
    - HAADF-STEM image 0.136 nm, FFT image 0.105 nm (HR lens*)
    - BF STEM image 0.204 nm (w/o Cs-corrector)
    Phân tích EDX độ nhay và tốc độ cao: Dòng dò lớn hơn gấp 10 lần
    Lập bản đồ nguyên tố với thời gian nhanh hơn, phát hiện các nguyên tố có nộng độ thấp.
    Hitachi in-house Cs-corrector
    Được trang bị với một bộ hiệu chỉnh quang sai cầu dạng đầu dò được phát triển bởi Hitachi, quá trình hiệu chỉnh quang sai tự động diễn ra nhanh chóng và không yêu cầu phải có kinh nghiệm về hiệu chỉnh quang sai.
    Giải pháp hoàn hảo cho tất cả từ chuẩn bị mẫu đến quan sát & phân tích
    Hố giữ mẫu tương tích với FIB Hitachi.

    Scroll