Bệ mẫu laser SEM

☆☆☆☆☆ ( 0 đánh giá ) 51 lượt xem
Giá tham khảo : Liên hệ
lblNhaCungung

Nhà cung ứng: Deben UK Ltd.

Bệ mẫu Deben kết hợp hệ thống mã hóa laser dựa trên lưới XY, cực kỳ ổn định và dễ dàng để căn chỉnh. Loại hệ thống mã hóa này tự động bù cho lỗi quay thường xuất hiện khi sử dụng các đầu đọc X và Y riêng biệt.

  • Sử dụng thiết kế mô-đun, chúng tôi có thể tùy chỉnh các bệ mẫu cho hầu hết các buồng SEM và cung cấp di chuyển theo trục XY từ 30x30mm đến 150x150mm. Hệ thống điều khiển bệ mẫu Deben Sprite SEM theo tiêu chuẩn công nghiệp sử dụng động cơ bước có độ phân giải cao với 50.000 bước trên mỗi vòng quay, động cơ được lắp bên ngoài để đảm bảo không có tác động nhiệt lên bệ mẫu. Các đầu tiếp xuyên từ quay được sử dụng để đảm bảo tính chân không và bệ mẫu được sản xuất với các thành phần tương thích chân không trong suốt để đảm bảo không có ảnh hưởng xấu đến mức chân không khi lắp đặt.
     
    Việc gắn mẫu thường sẽ giống như bệ mẫu nguyên bản, sử dụng bộ điều hợp lắp khớp nối sẽ chấp nhận giá đỡ mẫu SEM tiêu chuẩn. Bệ mẫu có chiều cao Z cố định mà nếu được yêu cầu sẽ được căn chỉnh với chốt gió trên buồng SEM, có thể sử dụng các bệ mẫu khác nhau để thiết lập khoảng cách làm việc hoặc độ nghiêng của mẫu nếu không sử dụng bệ mẫu nghiêng và quay. Bệ mẫu wafer có thể được cung cấp dưới dạng tùy chọn hoặc có thể được thiết kế riêng cho mẫu của khách hàng.
     
    Bộ điều khiển bệ mẫu Sprite cung cấp một loạt các tính năng dành riêng cho kính hiển vi điện tử như lưu trữ vị trí, dựng phim, giới hạn phần mềm có thể điều chỉnh và vị trí trao đổi mẫu có thể lập trình. Hệ thống này cũng có giao diện RS-232 cho phép giao tiếp với máy tính từ xa, hệ thống EDS hoặc khắc quang. Khi được kết nối với hệ thống khắc quang bằng phần mềm khâu, hệ thống sẽ tự động dịch chuyển chùm tia SEM để sửa bất kỳ sai lệch nào, giúp việc khắc không có lỗi trên các mẫu rất lớn.
     
    Mặc dù bệ mẫu thay thế có trọng lượng lớn, một người có thể cài đặt hệ thống trong vòng chưa đầy 20 phút, điều này giúp dễ dàng đổi với bệ mẫu tiêu chuẩn nếu cần. Các kết nối cảnh báo và mẫu luôn được duy trì và sẽ hoạt động như với bệ mẫu SEM tiêu chuẩn. Một mặt bích chân không được lắp đặt trên cửa và có thể được gắn với một đầu tiếp xuyên điện tử tùy chọn.

  • THÔNG SỐ KỸ THUẬT
  • Di chuyển

    Từ 30x30mm đến 150x150mm

    Độ chính xác định vị lại

    50nm

    Độ chính xác tuyệt đối

    100nm

    Độ chính xác ghép bản đồ

    200nm

    Scroll